| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 30301-2013 | 高纯试剂试验方法通则 | 现行 | 2013-12-31 | 2014-08-01 |
| DB51/T 2004-2015 | 高纯氢氧化钠中硫酸盐的检测 离子色谱法 | 废止 | 2015-07-08 | 2016-01-01 |
| T/ICMTIA 5.2-2020 | 集成电路用ArF浸没式光刻胶 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 5.3-2020 | 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 5.1-2020 | 集成电路用 ArF 干式光刻胶 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/CRIAC 0028-2020 | 超干试剂 N,N-二甲基甲酰胺 | 现行 | 2020-09-10 | 2020-09-20 |
| T/CRIAC 0029-2020 | 超干试剂 吡啶 | 现行 | 2020-09-10 | 2020-09-20 |
| T/CRIAC 0030-2020 | 超干试剂 二甲亚砜 | 现行 | 2020-09-10 | 2020-09-20 |
| T/CRIAC 0031-2020 | 超干试剂 二氯甲烷 | 现行 | 2020-09-10 | 2020-09-20 |
| T/CRIAC 0032-2020 | 超干试剂 1,4-二氧六环 | 现行 | 2020-09-10 | 2020-09-20 |
| T/CRIAC 0033-2020 | 超干试剂 二乙二醇二甲醚 | 现行 | 2020-09-10 | 2020-09-20 |
| T/CRIAC 0034-2020 | 超干试剂 甲醇 | 现行 | 2020-09-10 | 2020-09-20 |
| T/CRIAC 0035-2020 | 超干试剂 四氢呋喃 | 现行 | 2020-09-10 | 2020-09-20 |
| T/CRIAC 0036-2020 | 超干试剂 乙腈 | 现行 | 2020-09-10 | 2020-09-20 |
| T/CRIAC 0037-2020 | 超干试剂 乙酸乙酯 | 现行 | 2020-09-10 | 2020-09-20 |
| T/CSTM 00236-2020 | 化学试剂 农残级甲醇 | 现行 | 2020-03-23 | 2020-06-23 |
| T/CSTM 00237-2020 | 化学试剂 农残级乙腈 | 现行 | 2020-03-23 | 2020-06-23 |
| T/ICMTIA 2-2019 | 集成电路用过氧化氢 | 现行 | 2019-04-17 | 2019-10-10 |
| T/ICMTIA 5.3-2020 | 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |
| T/ICMTIA 5.2-2020 | 集成电路用ArF浸没式光刻胶 | 现行 | 2020-12-31 | 2021-03-01 |