半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求

本标准规定了半导体集成电路制造业　晶圆　绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。

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