| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 1235-2018 | 钼钛合金（MoTi）靶材 | 现行 | 2018-09-01 | 相似 |
| YS/T 1373-2020 | 钼钛锆（TZM）合金坯 | 现行 | 2021-04-01 | 相似 |
| YS/T 1372-2020 | 钼钛锆（TZM）合金粉 | 现行 | 2021-04-01 | 相似 |
| GB/T 43603.1-2023 | 镍铂靶材合金化学分析方法 第1部分:铂含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2024-07-01 | 相似 |
| GB/T 43603.3-2024 | 镍铂靶材合金化学分析方法 第3部分：碳含量的测定 高频红外检测法 | 现行 | 2024-10-01 | 相似 |
| YS/T 1358-2020 | 磁记录用铁钴钽合金溅射靶材 | 现行 | 2021-04-01 | 相似 |
| YS/T 936-2013 | 集成电路器件用镍钒合金靶材 | 现行 | 2014-03-01 | 相似 |
| YS/T 1129-2016 | 钨钛合金靶材 | 现行 | 2017-01-01 | 相似 |
| GB/T 39159-2020 | 集成电路用高纯铜合金靶材 | 现行 | 2021-10-01 | 相似 |
| GB/T 23611-2023 | 金及金合金靶材 | 现行 | 2024-03-01 | 相似 |
| GB/T 29658-2013 | 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材 | 现行 | 2014-05-01 | 相似 |
| GB/T 43603.2-2024 | 镍铂靶材合金化学分析方法 第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2024-10-01 | 相似 |
| YS/T 1635-2023 | 镍铬合金靶材 | 现行 | 2024-07-01 | 相似 |
| YS/T 1025-2015 | 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材 | 现行 | 2015-10-01 | 相似 |
| YS/T 1555-2022 | 铂钴铬硼合金溅射靶材 | 现行 | 2023-04-01 | 相似 |
| YS/T 1357-2020 | 磁记录用铬钽钛合金溅射靶材 | 现行 | 2021-04-01 | 相似 |
| YS/T 1234-2018 | 铬钼合金（CrMo）靶材 | 现行 | 2018-09-01 | 相似 |
| XB/T 515-2020 | 钪铝合金靶材 | 现行 | 2021-04-01 | 相似 |