硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique

GB/T 14142-2017推荐性国家标准

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GB/T 14142-2017 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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