硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法

Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique

GB/T 14142-2017 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2017-09-29

实施日期

2018-04-01

基础信息

标准号

GB/T 14142-2017

批准发布部门

国家标准委

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H25

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

专题

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