硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique

GB/T 14142-2017推荐性国家标准

现行

相似
更新日期:2026-03-03

标准状态

发布日期

2017-09-29

实施日期

2018-04-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

H25

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

GB/T 14142-2017 相关专题

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