硅外延用三氯氢硅

Trichlorosilane for silicon epitaxial

GB/T 30652-2023 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2023-08-06

实施日期

2024-03-01

基础信息

标准号

GB/T 30652-2023

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

标准层级

国家标准

专题

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