硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法

YS/T 1060-2015 YS有色金属

现行

标准状态

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

基础信息

标准号

YS/T 1060-2015

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国有色金属标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040.30

行业分类

制造业

标准类别

方法标准

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

50408-2015

备案日期

2015-07-08

适用范围

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。

起草单位

中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

起草人

刘新军、刘英杰、郑华荣等

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