现行
2015-04-30
2015-10-01
50408-2015
2015-07-08
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。
中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司
刘新军、刘英杰、郑华荣等
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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