卧式液相外延系统通用规范

SJ/T 11275-2002SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2002-10-30

实施日期

2003-03-01

基础信息

标准号

SJ/T 11275-2002

批准发布部门

信息产业部

制修订

制定

标准分类

标准类别

无

标准分类

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

10995-2002

备案日期

2014-12-26

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