洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

GB/T 25915.13-2022推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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