Planning and design of controlled environments for research and production at the nanometer scale
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 40868-2021 | 纳米尺度科研生产受控环境规划与设计 | 现行 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| GB/T 25915.12-2021 | 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 | 现行 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| GB/T 22462-2008 | 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法 | 现行 | 2008-10-30 | 2009-06-01 |
| DB32/T 4378-2022 | 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法 | 现行 | 2022-10-23 | 2022-11-23 |
| GB/T 33657-2017 | 纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范 | 现行 | 2017-05-12 | 2017-12-01 |
| GB/T 47073-2026 | 表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 36527-2018 | 洁净室及相关受控环境 节能指南 | 现行 | 2018-07-13 | 2018-11-01 |
| GB/T 33556.1-2017 | 医院洁净室及相关受控环境应用规范 第1部分：总则 | 废止 | 2017-05-12 | 2017-12-01 |
| GB/T 25916.2-2010 | 洁净室及相关受控环境 生物污染控制 第2部分：生物污染数据的评估与分析 | 现行 | 2011-01-14 | 2011-05-01 |
| GB/T 25915.9-2018 | 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级 | 现行 | 2018-06-07 | 2018-10-01 |
| GB/T 36066-2025 | 洁净室及相关受控环境 检测技术要求与应用 | 现行 | 2025-04-25 | 2025-11-01 |
| GB/T 25915.13-2022 | 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-07-01 |
| GB/T 25915.14-2022 | 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-07-01 |
| GB/T 25915.15-2022 | 洁净室及相关受控环境 第15部分： 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-07-01 |
| GB/T 25915.2-2021 | 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 25915.1-2021 | 洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 25915.8-2021 | 洁净室及相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 25915.10-2021 | 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |