机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件

Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

GB/T 5226.33-2017推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-23
总页数:100页
格式:pdf

GB/T 5226.33-2017 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 41997.3-2022机械电气安全 基于视觉的电敏保护设备 第3部分:采用立体视觉保护器件特殊要求现行2022-10-142023-05-01
GB 5226.6-2014机械电气安全机械电气设备 第6部分:建设机械技术条件现行2014-05-062015-06-29
GB/T 41997.2-2022机械电气安全 基于视觉的电敏保护设备 第2部分:采用参考模式的视觉保护器件特殊要求现行2022-10-142023-05-01
GB 5226.2-2002机械安全机械电气设备 第32部分:起重机械技术条件废止2002-06-132003-07-01
GB 5226.1-2002机械安全机械电气设备 第1部分:通用技术条件废止2002-10-082003-10-01
GB 5226.4-2005机械安全机械电气设备 第31部分:缝纫机、缝制单元和缝制系统的特殊安全和EMC要求废止2005-09-092006-09-01
GB 5226.1-2008机械电气安全机械电气设备 第1部分:通用技术条件废止2008-12-302010-02-01
GB/T 19436.4-2016机械电气安全 电敏保护设备 第4部分:使用视觉保护装置(VBPD)设备的特殊要求废止2016-02-242016-09-01
GB/T 19436.1-2025机械电气安全 电敏保护设备 第1部分:一般要求和试验即将实施2025-10-312026-05-01
GB/T 19436.2-2025机械电气安全 电敏保护设备 第2部分:使用有源光电保护装置(AOPDs)设备的特殊要求即将实施2025-10-312026-05-01
GB/T 18663.6-2026电气和电子设备机械结构 公制系列和英制系列的试验 第6部分:户内机柜的安全要求即将实施2026-02-272026-09-01
GB/T 13422-2013半导体变流器 电气试验方法现行2013-07-192013-12-02
JB 9644-1999半导体电气传动用电抗器现行1999-08-062000-01-01
GB/T 34934-2017机械电气安全安全相关设备中的通信系统使用指南现行2017-11-012018-05-01
GB/T 29483-2013机械电气安全 检测人体存在的保护设备应用现行2012-12-112013-07-01
GB 46038-2025工业机械电气设备及系统 安全要求即将实施2025-10-052026-11-01
GB/T 36005-2018半导体照明设备和系统的光辐射安全测试方法现行2018-03-152018-10-01
GB/T 4937.1-2006半导体器件 机械和气候试验方法 第1部分: 总则现行2006-08-232007-02-01