硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

GB/T 29505-2013推荐性国家标准

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GB/T 29505-2013 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 15056-2017铸造表面粗糙度 评定方法现行2017-11-012018-05-01
GB/T 31199-2014计算机直接制版版基(CTP版基) 表面粗糙度参数的测定现行2014-09-032015-05-01
GB/T 6060.2-2006表面粗糙度比较样块 磨、车、镗、铣、插及刨加工表面现行2006-02-052006-08-01
GB/T 13288.2-2011涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第2部分:磨料喷射清理后钢材表面粗糙度等级的测定方法 比较样块法现行2011-12-302012-10-01
GB/T 13288.5-2009涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第5部分:表面粗糙度的测定方法 复制带法现行2009-03-092009-11-01
GB/T 39741.2-2021滑动轴承 公差 第2部分:轴和止推轴肩的几何公差及表面粗糙度现行2021-03-092021-10-01
GB/T 11357-2020带轮的材质、表面粗糙度及平衡现行2020-04-282021-03-01
GB/T 14495-2009产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 木制件表面粗糙度比较样块现行2009-03-162009-11-01
GB/T 13288.3-2009涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第3部分:ISO表面粗糙度比较样块的校准和表面粗糙度的测定方法 显微镜调焦法现行2009-03-092009-11-01
GB/T 13288.4-2013涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第4部分:ISO表面粗糙度比较样块的校准和表面粗糙度的测定方法 触针法现行2013-07-192013-12-01
GB/T 13288.1-2008涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第1部分: 用于评定喷射清理后钢材表面粗糙度的ISO表面粗糙度比较样块的技术要求和定义现行2008-04-012008-09-01
GB/T 40389-2021烧结金属材料(不包括硬质合金) 表面粗糙度的测定现行2021-08-202022-03-01
GB/T 12767-1991粉末冶金制品 表面粗糙度 参数及其数值现行1991-03-221992-05-01
GB/T 12472-2003产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 木制件表面粗糙度参数及其数值现行2003-03-062003-11-01
GB/T 31226-2014扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法现行2014-09-302015-04-15
GB/T 6060.3-2008表面粗糙度比较样块 第3部分:电火花、抛(喷)丸、喷砂、研磨、锉、抛光加工表面现行2008-02-282008-08-01
GB/T 6060.1-2018表面粗糙度比较样块 第1部分:铸造表面现行2018-09-172019-04-01
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