光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

Guidelines for photomask defect classification and size definition

GB/T 16880-1997推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-13
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GB/T 16880-1997 相似标准 第15页

标准号标准名称状态发布日期实施日期
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