硅片径向电阻率变化测量方法

Test method for measuring radial resistivity variation on silicon wafers

GB/T 11073-2025推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法现行2019-12-272019-12-31
SJ/T 11487-2015半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法现行2015-04-302015-10-01
SY/T 5385-2007岩石电阻率参数实验室测量及计算方法废止2007-10-082008-03-01
SY/T 6712-2008岩样复电阻率实验室测量方法废止2008-06-162008-12-01
SY/T 6063-1994埋地钢质管道防腐绝层电阻率现场测量技术规定废止1995-01-181995-07-01
SY/T 5385-1991岩石电阻率参数实验室测量及计算方法废止1991-07-191991-02-01
GB/T 19289-2003电工钢片(带)的密度、电阻率和叠装系数的测量方法废止2003-09-122004-04-01
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-272019-12-31
GB/T 41606-2022钛酸钡基高抗电强度低电阻率热敏陶瓷现行2022-07-112023-02-01
MT/T 781-1998高分辨自动地电阻率仪通用技术条件现行1998-11-101999-04-01
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