硅片径向电阻率变化测量方法

Test method for measuring radial resistivity variation on silicon wafers

GB/T 11073-2025推荐性国家标准

即将实施

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GB/T 11073-2025 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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GB/T 4192-1984电真空器件及电光源用钨、钼材料电阻率的测试方法现行1984-03-091984-11-01
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GB/T 41708-2022玻璃熔体电阻率试验方法现行2022-10-142023-02-01
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GB/T 24521-2018炭素原料和焦炭电阻率测定方法现行2018-05-142019-02-01
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GB/T 42271-2022半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法现行2022-12-302023-04-01
GB/T 5594.5-1985电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法 体积电阻率测试方法现行1985-11-271986-12-01
SY/T 6844-2021微电阻率成像测井仪现行2021-11-162022-02-16
GB/T 3048.2-2007电线电缆电性能试验方法 第2部分:金属材料电阻率试验现行2007-12-032008-05-01
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