硅片径向电阻率变化测量方法

Test method for measuring radial resistivity variation on silicon wafers

GB/T 11073-2025推荐性国家标准

即将实施

上传时间:2026-03-21
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GB/T 11073-2025 相似标准 第8页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 5167-1985烧结金属材料和硬质合金电阻率的测定废止1985-05-081986-02-01
GB/T 16427-1996粉尘层电阻率测定方法废止1996-06-041997-04-01
GB/T 1410-2006固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法废止2006-02-152006-06-01
GB/T 10581-2006绝缘材料在高温下电阻和电阻率的试验方法废止2006-02-152006-06-01
GB/T 3781.9-2006乙炔炭黑 第9部分:电阻率的测定废止2006-08-012007-01-01
GB/T 1551-2009硅单晶电阻率测定方法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 24521-2009焦炭电阻率测定方法废止2009-10-302010-05-01
GB/T 12476.9-2010可燃性粉尘环境用电气设备 第9部分:试验方法 粉尘层电阻率的测定方法废止2010-08-092011-08-01
KA/T 781-1998高分辨自动地电阻率仪通用技术条件现行1998-11-101999-04-01
JC/T 3073-2026混凝土电阻率测试方法即将实施2026-07-152027-02-01
GB/T 1672-1988液体增塑剂体积电阻率的测定现行1988-02-231988-10-01
GB/T 11297.7-1989锑化铟单晶电阻率及霍耳系数的测试方法现行1989-03-311990-01-01
T/CSTM 00252-2020碳纤维体积电阻率试验方法 四探针法现行2020-07-242020-10-24
T/SBX 027-2019向列相热致液晶单体电阻率的测定 直流电压法现行2019-12-242020-02-01
YS/T 63.2-2023铝用炭素材料检测方法 第2部分:室温电阻率的测定现行2023-04-212023-11-01
JJG 508-2004四探针电阻率测试仪现行2004-09-212005-03-21
JJF 1618-2017绝缘油介质损耗因数及体积电阻率测试仪校准规范现行2017-02-282017-05-28
GB/T 4192-2026电真空器件及电光源用钨、钼材料电阻率的测试方法即将实施2026-08-282027-03-01