微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

GB/T 42896-2023推荐性国家标准

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GB/T 42896-2023 相似标准 第12页

更新时间 2026-10-25
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