| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 12963-2022 | 电子级多晶硅（外文版EN） | 现行 | 2025-12-09 | |
| GB/T 28159-2011 | 电子级磷酸 | 废止 | 2011-12-30 | 2012-07-01 |
| DB52/T 904-2014 | 电子级三氯氧磷 | 废止 | 2014-06-09 | 2014-07-09 |
| DB52/T 902-2014 | 电子级三溴化硼 | 废止 | 2014-06-09 | 2014-07-09 |
| GB/T 12963-2014 | 电子级多晶硅 | 废止 | 2014-12-31 | 2015-09-01 |
| DB52/T 795-2013 | 电子级高纯钛 | 废止 | 2013-01-05 | 2013-02-05 |
| T/ZZB 1373-2019 | 7N 光电子级超纯氨 | 现行 | 2019-11-27 | 2019-12-31 |
| T/CCGA 30004-2019 | 电子级八氟环丁烷 | 现行 | 2019-10-29 | 2020-01-29 |
| T/DLSHXH 003-2018 | 电子级 二乙基锌 | 现行 | 2018-09-18 | 2018-09-28 |
| YS/T 1740-2025 | 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法 | 现行 | 2025-04-10 | 2025-11-01 |
| ZJM-001-2619-2019 | 7N光电子级超纯氨 | 现行 | 2019-12-17 | 2019-12-17 |
| T/NAIA 054-2021 | 电子级硼酸三甲酯 | 现行 | 2021-06-10 | 2021-06-15 |
| T/ZJGFTR 004-2022 | 电子级四氢呋喃 | 现行 | 2022-04-11 | 2022-04-11 |
| T/CCGA 30007-2022 | 电子级三氟化氯 | 现行 | 2022-12-28 | 2023-03-01 |
| T/CI 457-2024 | 电子级多晶硅用聚乙烯包装材料技术规范 | 现行 | 2024-08-15 | 2024-08-15 |
| GB/T 42720-2023 | 电子特气 六氯乙硅烷 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 15909-2017 | 电子工业用气体 硅烷 | 现行 | 2017-05-31 | 2017-12-01 |
| GB/T 38866-2020 | 电子工业用二氯硅烷 | 现行 | 2020-07-21 | 2021-02-01 |