电子级八氟环丁烷

Electronic grade perfluorocyclobutane

T/CCGA 30004-2019制造业

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2019-10-29

实施日期

2020-01-29

基础信息

标准号

T/CCGA 30004-2019

包含专利

否

标准分类

国际标准分类号

71.100.20 工业气体

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号,技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电子行业蚀刻气体。

起草单位

苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会

起草人

金向华、许军州、洑春干、周宝军、魏入铎、庄坤华、宋芳芳

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