| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 11378-2005 | 金属覆盖层 覆盖层厚度测量 轮廓仪法 | 废止 | 2005-06-23 | 2005-12-01 |
| GB/T 32999-2016 | 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率 | 现行 | 2016-10-13 | 2017-09-01 |
| GB/T 33826-2017 | 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法 | 现行 | 2017-05-31 | 2017-12-01 |
| GB/T 11378-2025 | 金属覆盖层 覆盖层厚度测量 轮廓仪法 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |