电子倍增电荷耦合成像器件光电性能通用测试方法

本标准规定了光谱范围为140nm?1100nm的电子倍增电荷耦合成像器件（以下简称电子倍增CCD器件）的术语和参数测试方法。 本标准适用于光谱范围为140nm?1100nm的电子倍增电荷耦合成像器件的参数测试。

各项性能测试的详细要求见本标准下列的各测试方法。 本标准规定的测试方法分类如下： ——方法01 倍增寄存器满阱容量测试； ——方法02 增益测试； ——方法03 等效读出噪声测试； ——方法04 噪声因子测试； ——方法05 暗信号测试； ——方法06 暗信号非均匀性测试； ——方法07 光响应非线性测试； ——方法08 信噪比测试； ——方法09 缺陷测试； ——方法10 光谱响应范围测试。

中国电子科技集团公司第四十四研究所、钢研纳克检测技术股份有限公司、山东东仪光电仪器有限公司、清华大学、上海理工大学