主要技术内容
本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备（以下简称“设备”）。
Sputter equipment for Cu-In-Ga-Se thin film solar cells
现行
2020-11-06
2020-11-30
本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备（以下简称“设备”）。
浙江上方电子装备有限公司、本标准参与起草单位（排名不分）：浙江方正轻纺机械检测中心有限公司、慈溪市长信真空设备厂（普通合伙）
来华杭、周海龙、蔡好、袁海萍、洪东、陈敏、虞跃华、王晨、姚亮
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/JQEA 003-2020 | 颚式破碎斗 | 现行 | 2020-10-30 | 2020-10-30 |
| YB/T 6466-2026 | 太阳能电池镀膜用等静压石墨 | 即将实施 | 2026-04-16 | 2026-11-01 |
| T/CI 488-2024 | 异质结太阳能电池检测技术要求 | 现行 | 2024-09-02 | 2024-09-02 |
| T/ZZB 1790-2020 | 铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备 | 现行 | 2020-11-06 | 2020-11-30 |