无纺布/聚氨酯复合抛光垫

Nonwovens/polyurethane composite polishing pad

T/SHXCL 0004-2021制造业

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2021-04-12

实施日期

2021-05-30

基础信息

标准号

T/SHXCL 0004-2021

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

G23

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫(以下简称抛光垫)的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于抛光垫,用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板,蓝宝石衬底等材料的抛光,还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、不锈钢、钨、膨胀玻璃的抛光。

起草单位

上海映智研磨材料有限公司等

起草人

张泽芳等

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