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抛光垫 第1页

更新日期 2026‑10‑22
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 47927-2026半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘即将实施2026-07-302027-02-01
T/SHXCL 0004-2021无纺布/聚氨酯复合抛光垫现行2021-04-122021-05-30
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