膜厚监控用石英晶振片

Quartz crystal resonator for film thickness control

T/CEMIA 006-2018制造业

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2018-12-14

实施日期

2019-03-14

基础信息

标准号

T/CEMIA 006-2018

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

L21石英晶体

国际标准分类号

31.140

标准层级

团体标准

适用范围

本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。

主要技术内容

本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。

起草单位

唐山万士电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司,唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司,江苏省东海硅产业科技创新中心。

起草人

王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔

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