多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

T/CNIA 0060-2020制造业

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2020-05-27

实施日期

2020-08-01

基础信息

标准号

T/CNIA 0060-2020

包含专利

否

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。 本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定,测定范围为0.02×10-9~1×10-5(v/v)。

起草单位

宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司

起草人

刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明

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