电子工业用高纯硝酸

T/CNIA 0063-2020制造业

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2020-05-27

实施日期

2020-08-01

基础信息

标准号

T/CNIA 0063-2020

团体名称

中国有色金属工业协会 中国有色金属学会

包含专利

标准分类

国际标准分类号

71.060.01 无机化学综合

行业分类

C261 基础化学原料制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准规定了电子工业用高纯硝酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单(或合同)内容及安全。 本标准适用于电子工业用高纯硝酸(以下简称高纯硝酸)。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。

起草单位

青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司

起草人

杨晓青、刘刚、岳峥、薛心禄、秦榕、白圣玉、李军、张旸旸、孙燕、张全伟

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