主要技术内容
本标准规定了电子工业用高纯硝酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单(或合同)内容及安全。 本标准适用于电子工业用高纯硝酸(以下简称高纯硝酸)。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。
现行
2020-05-27
2020-08-01
T/CNIA 0063-2020
中国有色金属工业协会 中国有色金属学会
否
71.060.01 无机化学综合
C261 基础化学原料制造
团体标准
本标准规定了电子工业用高纯硝酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单(或合同)内容及安全。 本标准适用于电子工业用高纯硝酸(以下简称高纯硝酸)。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。
青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司
杨晓青、刘刚、岳峥、薛心禄、秦榕、白圣玉、李军、张旸旸、孙燕、张全伟
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 931-2024 | 硝酸钯 | 现行 | 2024-10-24 | 2025-05-01 |
| HG/T 6320-2024 | 硝酸羟胺水溶液 | 现行 | 2024-10-24 | 2025-05-01 |
| SH/T 1498.4-1997 | 尼龙66盐中假硝酸含量的测定 | 现行 | 1997-07-12 | 1997-12-01 |
| HG/T 6334-2024 | 工业碱式硝酸铜 | 现行 | 2024-10-24 | 2025-05-01 |
| YS/T 1081-2025 | 硝酸铯 | 现行 | 2025-08-19 | 2026-03-01 |
| T/CSTM 00069-2019 | 化学试剂 九水合硝酸铝(硝酸铝) | 现行 | 2019-02-15 | 2019-02-15 |
| T/CRIAC 0045-2021 | 化学试剂 优级纯 发烟硝酸 | 现行 | 2021-03-30 | 2021-04-20 |
| XB/T 219-2015 | 硝酸铈 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| XB/T 221-2008 | 硝酸铈铵 | 现行 | 2008-02-01 | 2008-07-01 |
| XB/T 221-2022 | 硝酸铈铵 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| GZB 6-11-02-02 | 硝酸生产工 | 现行 | 2019-12-10 | 2019-12-10 |
| HG/T 4863-2015 | 氨氧化制硝酸用高钯催化剂 | 现行 | 2015-07-14 | 2016-01-01 |
| HG/T 4831-2015 | 高纯工业品 硝酸锶 | 现行 | 2015-07-14 | 2016-01-01 |
| HG/T 3582-2009 | 工业硝酸锌 | 现行 | 2009-12-04 | 2010-06-01 |
| HG/T 3443-2014 | 化学试剂 三水合硝酸铜(硝酸铜) | 现行 | 2014-12-24 | 2015-06-01 |
| HG 2271.2-1992 | S201型硝酸生产用铂催化剂试验方法 | 现行 | 1992-03-03 | 1993-01-01 |
| HG/T 4522-2013 | 工业硝酸锶 | 现行 | 2013-10-17 | 2014-03-01 |
| HG/T 4521-2013 | 工业硝酸钴 | 现行 | 2013-10-17 | 2014-03-01 |
| HG/T 2271-2014 | 氨氧化制硝酸用铂催化剂 | 现行 | 2014-10-14 | 2015-04-01 |
| HG/T 5555-2019 | 高纯工业品硝酸 | 现行 | 2019-12-24 | 2020-07-01 |
| GB 26131-2010 | 硝酸工业污染物排放标准 | 现行 | 2011-01-14 | 2011-03-01 |
| SJ/T 11556-2015 | 用原子吸收光谱测定硝酸溶剂中银、金、钙、铜、铁、钾和钠的含量 | 现行 | 2015-10-10 | 2016-04-01 |
| YS/T 1323-2019 | 四氨合硝酸铂 | 现行 | 2019-08-02 | 2020-01-01 |
| YS/T 1020-2015 | 硝酸铷 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| T/CACEM 15.2-06-2020 | 城市公共交通运营服务 第6部分:信息化管理要求 | 现行 | 2020-06-09 | 2020-07-01 |