基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

Testing method of optical constants for0ptical thin films based on spectro-photo-metric method

T/CSTM 00313-2021 制造业

现行

标准状态

发布日期

2021-10-18

实施日期

2022-01-18

基础信息

标准号

T/CSTM 00313-2021

团体名称

中关村材料试验技术联盟

包含专利

标准分类

中国标准分类号

N 35

国际标准分类号

17.180.01 光学和光学测量综合

行业分类

C305 玻璃制品制造

标准层级

团体标准

适用范围

本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性,并以此反演出膜层光学常数的测试方法。 本文件适用于50nm~5000nm的介质光学薄膜和基片,薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物,基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。

主要技术内容

本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性,并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm~5000nm的介质光学薄膜和基片,薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物,基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。

起草单位

西南技术物理研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所

起草人

马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安

专题

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