电子级氨水

Electronic grade ammonium hydroxide

T/CSTM 01148-2024制造业

现行

标准状态

发布日期

2024-04-29

实施日期

2024-07-29

基础信息

标准号

T/CSTM 01148-2024

团体名称

中关村材料试验技术联盟

包含专利

标准分类

中国标准分类号

G 17

国际标准分类号

71.080.60 醇、醚

行业分类

C398 电子元件及电子专用材料制造

标准层级

团体标准

适用范围

本文件规定了电子级氨水的分级与命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件、安全信息。 本文件适用于以工业级液氨和超纯水为原料,经纯化制得的电子级氨水。主要用作集成电路(半导体)、印刷电路板等制程用化学品。 CAS号:1336-21-6 分子式:NH3·H2O 相对分子质量:35.05(按2022年国际相对原子质量)

主要技术内容

本文件规定了电子级氨水的分级与命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件、安全信息。本文件适用于以工业级液氨和超纯水为原料,经纯化制得的电子级氨水。主要用作集成电路(半导体)、印刷电路板等制程用化学品。CAS号:1336-21-6分子式:NH3·H2O相对分子质量:35.05(按2022年国际相对原子质量)

起草单位

深圳新宙邦科技股份有限公司、浙江建业微电子材料有限公司、江苏美阳电子材料有限公司、福建天甫电子材料有限公司、江化微(镇江)电子材料有限公司、晶瑞(湖北)微电子材料有限公司、新迈奇材料股份有限公司、唐山三友电子化学品有限责任公司、联仕新材料(苏州)股份有限公司、浙江森田新材料有限公司、中国化工情报信息协会、北京中企标服国际信息技术研究院

起草人

姜希松、郭丽、顾海燕、鄢艳华、顾玲燕、钟九生、李祥庆、刘奕丰、谢汪洋、闫广学、郑存强、张双磊、李文斌、张啸虎、吕景琴、杨亮亮、李清霞、肖国营、胡法祥、潘美华、刘宇、付登、张长安

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