真空卷绕镀膜设备通用技术要求

Generic specification for vacuum roll-to-roll coating plant

T/GVS 010-2022制造业

现行

标准状态

发布日期

2022-09-23

实施日期

2022-09-23

基础信息

标准号

T/GVS 010-2022

团体名称

广东省真空学会

包含专利

标准分类

中国标准分类号

J 78

国际标准分类号

23.160

行业分类

C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造

标准层级

团体标准

适用范围

本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积(CVD)卷绕镀膜设备。

主要技术内容

本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积(CVD)卷绕镀膜设备。

起草单位

广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司

起草人

朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高

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