| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/GVS 017-2024 | 连续式光学磁控溅射镀膜设备 | 现行 | 2024-12-24 | 2024-12-24 |
| T/GVS 003-2021 | 真空表面处理工艺用离子源 | 现行 | 2021-06-28 | 2021-06-28 |
| T/GVS 002-2021 | 高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求 | 现行 | 2021-06-28 | 2021-06-28 |
| T/GVS 001-2021 | 真空镀膜设备 电磁兼容 屏蔽与辐射安全技术规范 | 现行 | 2021-06-28 | 2021-06-28 |
| T/GVS 005-2022 (2) | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |
| T/GVS 014-2024 | 半导体设备用低温泵评价规范 | 现行 | 2024-08-02 | 2024-08-02 |
| T/GVS 013-2024 | 红外测温滤光片 | 现行 | 2024-04-22 | 2024-04-22 |
| T/GVS 012-2023 | 光学真空镀膜职业技能评价规范 | 现行 | 2023-11-27 | 2023-11-27 |
| T/GVS 011-2023 | 光学真空镀膜职业技能培训规范 | 现行 | 2023-11-27 | 2023-11-27 |
| T/GVS 015-2024 | 远程等离子体源的解离率测试方法 | 现行 | 2024-10-10 | 2024-10-10 |
| T/GVS 016-2024 | 机器视觉岗位职业技能等级规范 | 现行 | 2024-11-05 | 2024-11-05 |
| T/GVS 010-2022 | 真空卷绕镀膜设备通用技术要求 | 现行 | 2022-09-23 | 2022-09-23 |
| T/GVS 009-2022 | 注塑模具表面纳米硬质PVD涂层评价规范 | 现行 | 2022-08-26 | 2022-08-26 |
| T/GVS 008-2022 | 轴流风机叶轮表面抗老化PVD涂层测试方法 | 现行 | 2022-08-26 | 2022-08-26 |
| T/GVS 007-2022 | 射频电源动态阻抗测试方法 | 现行 | 2022-07-11 | 2022-07-11 |
| T/GVS 006-2022 | 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法 | 现行 | 2022-05-27 | 2022-05-27 |
| T/GVS 005-2022 | 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |
| T/GVS 004-2022 | 光学真空镀膜职业技能等级规范 | 现行 | 2022-03-28 | 2022-03-28 |