主要技术内容
本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。
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Method of measuring output deviation stability for semiconductor RF power supply and microwave power supply
现行
2022-05-27
2022-05-27
T/GVS 006-2022
广东省真空学会
否
K 80
19.080
M745 质检技术服务
团体标准
本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。 本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。
本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。
季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学
胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义、李晓刚、陈科球
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