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半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法

Method of measuring output deviation stability for semiconductor RF power supply and microwave power supply

T/GVS 006-2022科学研究和技术服务业

现行

标准状态

发布日期

2022-05-27

实施日期

2022-05-27

基础信息

标准号

T/GVS 006-2022

团体名称

广东省真空学会

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

K 80

国际标准分类号

19.080

行业分类

M745 质检技术服务

标准层级

团体标准

适用范围

本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。 本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。

主要技术内容

本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。

起草单位

季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学

起草人

胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义、李晓刚、陈科球

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