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半导体车间金属粉尘智能检测分析系统

T/QGCML 3970-2024信息传输、软件和信息技术服务业

现行

标准状态

发布日期

2024-03-27

实施日期

2024-04-11

基础信息

标准号

T/QGCML 3970-2024

团体名称

全国城市工业品贸易中心联合会

包含专利

否

标准分类

国际标准分类号

35.240.01 信息技术应用综合

行业分类

I653 信息系统集成和物联网技术服务

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。

起草单位

凌凯电子科技（湖北）有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有限公司

起草人

张辰铭、陈肖依、张红、李玉山、何洋

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