IC类半导体固晶机技术规范

T/SZBSIA 006-2025 其他标准

现行

标准状态

发布日期

2025-12-02

实施日期

2025-12-02

基础信息

标准号

T/SZBSIA 006-2025

团体名称

深圳市宝安区半导体行业协会

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了半导体固晶机的术语和定义、结构与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、使用说明书与标志、包装、运输和储存。本文件适用于IC类半导体固晶机。

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