半导体工业氮氧化物排放要求

Semiconductor Industry Nitrogen Oxide Emission Requirements

T/CIECCPA 007-2024 水利、环境和公共设施管理业

现行

标准状态

发布日期

2024-03-04

实施日期

2024-03-08

基础信息

标准号

T/CIECCPA 007-2024

团体名称

中国工业节能与清洁生产协会

包含专利

标准分类

中国标准分类号

Z 05

国际标准分类号

13.040.40 固定源排放限值

行业分类

N772 环境治理业

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了半导体行业工业生产过程中产生的大气污染物氮氧化物排放标准限值、检测要求、达标判定的要求。

起草单位

浙江芯科半导体有限公司、杭州慧翔电液技术开发有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、大连华邦化学有限公司、东莞南方半导体科技有限公司、苏州艾特斯环保设备有限公司、上海协和环境设备有限公司

起草人

李京波、王小周、张梦龙、刘黎明、张瀛、周礼誉、高嵩、杨荣博、钱昊、韩理想、袁松、王琨强、汪禹、邓向辉、阳志超、乔良、周阳、李双、王浩清、张坤

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