半导体光伏制造用双套管密封装置

本文件规定了半导体光伏制造用双套管密封装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于半导体光伏制造用双套管密封装置的生产及检验。

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