半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

Ultra-high purity graphite powder for semiconductor silicon carbide crystal

T/ZZB 2283-2021 其他标准

现行

标准状态

发布日期

2021-08-26

实施日期

2021-09-26

基础信息

标准号

T/ZZB 2283-2021

团体名称

浙江省品牌建设联合会

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于纯度达到5 N(99.999 wt%)以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。

起草单位

中钢新型材料股份有限公司、冶金工业信息标准研究院

起草人

杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙

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