连续式光学磁控溅射镀膜设备

Continuous optical magnetron sputtering coating equipment

T/GVS 017-2024 其他标准

现行

标准状态

发布日期

2024-12-24

实施日期

2024-12-24

基础信息

标准号

T/GVS 017-2024

团体名称

广东省真空学会

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。

起草单位

广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技(广州)有限公司、离子束(广州)装备科技有限公司、广州市尤特新材料有限公司

起草人

朱昆、李彬、曹祯烨、曹健辉、刘嘉静、杨锐、郑铭浩、周志宏

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