主要技术内容
本文件规定了真空镀膜设备电磁屏蔽与辐射安全的术语和定义、材料、技术要求和试验方法。本文件适用于电气工作频率为40 MHz以下的工业用真空镀膜设备（以下简称“设备”）及设备的现场测量。
Vacuum coating plant—Electromagnetic compatibility—Technical specification for shielding and radiation safety
现行
2021-06-28
2021-06-28
T/GVS 001-2021
团体标准
本文件规定了真空镀膜设备电磁屏蔽与辐射安全的术语和定义、材料、技术要求和试验方法。本文件适用于电气工作频率为40 MHz以下的工业用真空镀膜设备（以下简称“设备”）及设备的现场测量。
中山凯旋真空科技股份有限公司、广东省中山市质量技术监督标准与编码所、华南理工大学、中山火炬职业技术学院、中山市博顿光电科技有限公司
叶俊文、吴标平、李晓刚、黎子辉、聂鹏、石澎、冀鸣、邓志雄、彭中业、陈培绍、王松沛
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/GVS 002-2021 | 高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求 | 现行 | 2021-06-28 | 2021-06-28 |
| GB/T 11164-1999 | 真空镀膜设备通用技术条件 | 废止 | 1999-04-08 | 1999-09-01 |
| SJ/T 31083-2016 | 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 | 现行 | 2016-01-15 | 2016-06-01 |