真空镀膜设备通用技术条件

Vacuum coating plant generic specification

GB/T 11164-1999推荐性国家标准

废止

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更新日期:2026-08-08

标准状态

发布日期

1999-04-08

实施日期

1999-09-01

基础信息

标准号

GB/T 11164-1999

批准发布部门

中国机械工业联合会

标准分类

中国标准分类号

J78

国际标准分类号

23.160

标准层级

国家标准

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