真空镀膜设备通用技术条件

Vacuum coating plant generic specification

GB/T 11164-2011推荐性国家标准

现行

相似
更新日期:2026-03-02

标准状态

发布日期

2011-11-21

实施日期

2012-03-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

J78

国际标准分类号

23.160

标准层级

国家标准

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