汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

Simulation Specification for Potting Process of Automotive MEMS Pressure Sensor

T/NLIA 002-2021 制造业

现行

标准状态

发布日期

2021-04-26

实施日期

2021-06-01

基础信息

标准号

T/NLIA 002-2021

团体名称

武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟

包含专利

标准分类

国际标准分类号

31.260

行业分类

C3670 汽车零部件及配件制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了汽车 MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息,包含了汽车 MEMS 压力传感器灌封工 艺仿真的基本流程:仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。 本文件用于指导汽车 MEMS 压力传感器产品的生产、供应和使用,以促进传感器工艺仿真模型的 使用和灌封工艺的改良。本文件适用的汽车 MEMS 压力传感器产品包括: 汽车胎压传感器; 机油压力传感器; 燃油压力传感器; 燃油蒸汽压力传感器; 制动真空度传感器; 汽车尾排气压力传感器等。

起草单位

武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司,上达电子(深圳)有限公司,武汉华工激光工程有限责任公司,华中科技大学,中国地质大学(武汉),武汉华工赛百数据系统有限公司,深圳优艾智合机器人科技有限公司,深圳市诚亿自动化科技有限公司,深圳技术大学,武汉科技大学

起草人

李辉,张云帆,刘胜,申胜男,曹万,孙彬,吴巍,李新宇,文龙,姜静,许瑨,冷斌,吴丹,邓明星等

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