主要技术内容
本文件规定了汽车 MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息,包含了汽车 MEMS 压力传感器灌封工 艺仿真的基本流程:仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。 本文件用于指导汽车 MEMS 压力传感器产品的生产、供应和使用,以促进传感器工艺仿真模型的 使用和灌封工艺的改良。本文件适用的汽车 MEMS 压力传感器产品包括: 汽车胎压传感器; 机油压力传感器; 燃油压力传感器; 燃油蒸汽压力传感器; 制动真空度传感器; 汽车尾排气压力传感器等。
Simulation Specification for Potting Process of Automotive MEMS Pressure Sensor
现行
2021-04-26
2021-06-01
T/NLIA 002-2021
武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟
否
31.260
C3670 汽车零部件及配件制造
团体标准
本文件规定了汽车 MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息,包含了汽车 MEMS 压力传感器灌封工 艺仿真的基本流程:仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。 本文件用于指导汽车 MEMS 压力传感器产品的生产、供应和使用,以促进传感器工艺仿真模型的 使用和灌封工艺的改良。本文件适用的汽车 MEMS 压力传感器产品包括: 汽车胎压传感器; 机油压力传感器; 燃油压力传感器; 燃油蒸汽压力传感器; 制动真空度传感器; 汽车尾排气压力传感器等。
武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司,上达电子(深圳)有限公司,武汉华工激光工程有限责任公司,华中科技大学,中国地质大学(武汉),武汉华工赛百数据系统有限公司,深圳优艾智合机器人科技有限公司,深圳市诚亿自动化科技有限公司,深圳技术大学,武汉科技大学
李辉,张云帆,刘胜,申胜男,曹万,孙彬,吴巍,李新宇,文龙,姜静,许瑨,冷斌,吴丹,邓明星等
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
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