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汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

Simulation Specification for Potting Process of Automotive MEMS Pressure Sensor

T/NLIA 002-2021制造业

现行

更新日期：2026-03-30
汽车压力传感器工艺仿真

标准状态

发布日期

2021-04-26

实施日期

2021-06-01

基础信息

标准号

T/NLIA 002-2021

团体名称

武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟

包含专利

否

标准分类

国际标准分类号

31.260

行业分类

C3670 汽车零部件及配件制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了汽车 MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息，包含了汽车 MEMS 压力传感器灌封工 艺仿真的基本流程：仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。 本文件用于指导汽车 MEMS 压力传感器产品的生产、供应和使用，以促进传感器工艺仿真模型的 使用和灌封工艺的改良。本文件适用的汽车 MEMS 压力传感器产品包括： 汽车胎压传感器； 机油压力传感器； 燃油压力传感器； 燃油蒸汽压力传感器； 制动真空度传感器； 汽车尾排气压力传感器等。

起草单位

武汉大学，武汉飞恩微电子有限公司，上达电子（深圳）有限公司，武汉华工激光工程有限责任公司，华中科技大学，中国地质大学（武汉），武汉华工赛百数据系统有限公司，深圳优艾智合机器人科技有限公司，深圳市诚亿自动化科技有限公司，深圳技术大学，武汉科技大学

起草人

李辉，张云帆，刘胜，申胜男，曹万，孙彬，吴巍，李新宇，文龙，姜静，许瑨，冷斌，吴丹，邓明星等

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