二极管GPP沟槽清洗用混合酸配方

T/QDAS 094-2022制造业

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2022-07-22

实施日期

2022-07-22

基础信息

标准号

T/QDAS 094-2022

团体名称

青岛市标准化协会

包含专利

标准分类

中国标准分类号

CCS L 41

国际标准分类号

31.080.01 半导体器分立件综合

行业分类

C397 电子器件制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了二极管GPP沟槽清洗用混合酸的成分、纯度要求、浓度要求、配制比例、混合酸配制和使用要求等。本文件适用于采用二极管(包括整流二极管、快恢复功率二极管、可控硅、瞬态二极管、半导体放电管等)湿法腐蚀工艺清洗GPP沟槽的混合酸的配制。

起草单位

青岛金汇源电子有限公司、济南兰星电子有限公司、济南潼鑫电子科技有限公司

起草人

李德鹏、张光展、程文娟、徐海涛、李中亮

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