线切割后清洗机

本文件规定了线切割后清洗机的术语和定义、材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输及贮存。本文件适用于硅片线切割后清洗机（以下简称清洗机）的生产和检验。

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