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半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门技术规范

Technical specification for perfluoroalkoxy valves for semiconductor manufacturing

T/SZZXH 5-2025制造业

现行

更新日期：2026-09-12

标准状态

发布日期

2025-05-30

实施日期

2025-06-01

基础信息

标准号

T/SZZXH 5-2025

团体名称

深圳市战略性新兴产业发展促进会

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

J 16

国际标准分类号

23.060.99 其他阀门

行业分类

C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门的制造要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于PFA阀门的制造与检验。

起草单位

科讯工业制造(深圳)有限公司、东莞市富强高分子材料有限公司、深圳市恩欣龙特种材料股份有限公司、深圳市维普利精密制造有限公司、金华永和氟化工有限公司、宁波联大塑料管件有限公司、深圳市战略性新兴产业发展促进会

起草人

张生洲、张青松、俞诗琳、方锐玲、唐耀卫、刘福华、徐潇宇、徐路、孙向军、姚潺、童森荣、陈思思、陈小丽

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