7N 光电子级超纯氨

7N photoelectric class hyperpure ammonia

T/ZZB 1373-2019制造业

现行

更新日期:2026-03-30

标准状态

发布日期

2019-11-27

实施日期

2019-12-31

基础信息

标准号

T/ZZB 1373-2019

包含专利

否

标准分类

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20 工业气体

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准规定了 7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相沉积,也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。分子式: NH3。相对分子质量: 17.031(按 2016 年国际相对原子量)。

起草单位

海宁市英德赛电子有限公司、浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司

起草人

陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、王龙、赵晓兰、陈华燕(排名不分先后)

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