朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范

Calibration Specification for Single Langmuir Probe Plasma Instrument

T/BEA 43002-2023 其他标准

现行

标准状态

发布日期

2023-02-20

实施日期

2023-04-19

基础信息

标准号

T/BEA 43002-2023

团体名称

北京电子仪器行业协会

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本规范适用于电子密度范围1012m-3~1018m-3,电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪(下文简称等离子体测试仪)的校准。视为物质的第四态。在宏观尺度上(大于德拜长度)正离子和负电子的密度相等,呈准中性。

起草单位

北京东方计量测试研究所

起草人

邓星亮

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