管式等离子体淀积炉安装规范

Installation specification for tubular plasma deposition furnaces

T/GDID 1099-2024其他标准

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2024-02-23

实施日期

2024-02-23

基础信息

标准号

T/GDID 1099-2024

团体名称

广东省企业创新发展协会

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了管式等离子体淀积炉安装的术语和定义、基本要求、设备定位、安装石英管、安装炉口法兰和炉门、炉盖、安装炉尾法兰和炉门、安装石墨舟承托架、安装K型铠装热电偶、安装推舟及桨组件、加装管、安装桨、安装真空泵及真空管道、安装电源线缆、信号线缆及感应器的要求。本文件适用于生产太阳能电池硅片的管式等离子体淀积炉的安装作业过程。

起草单位

明通装备科技集团股份有限公司、广东省粤科标准化科学研究有限公司、广州市明通工程技术有限公司、东莞市明通包装科技有限公司、成都鑫明通起重吊装服务有限公司、明通精艺工程技术服务(上海)有限公司

起草人

苏庆华、张云锦、刘开军、钟瑗、曾冬苗、吴巧、刘时鹏

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