多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

本标准规定了多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定方法。 本标准适用于多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定，测定范围为0.10 μg/g～10.00 μg/g。

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