半导体设备电源接口

Power supply interface for semiconductor equipment

GB/T 15872-1995推荐性国家标准

废止

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标准状态

发布日期

1995-12-22

实施日期

1996-08-01

基础信息

标准号

GB/T 15872-1995

批准发布部门

工业和信息化部（电子）

技术归口

工业和信息化部（电子）

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

国际标准分类号

标准层级

国家标准

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